1. 引言

如今我們不難發(fā)現(xiàn)，軍用武器系統(tǒng)中幾乎都裝備有各種各樣的光電傳感器件，而在這些光電傳感器件中，或多或少都采用了各種樣式的光學(xué)零件。從美國*所作的一項調(diào)查報告的材料中我們知道，1980~1990年美國軍用激光和紅外熱成像產(chǎn)品所需要的各種光學(xué)零件就有114.77萬塊，其中球面光學(xué)零件為63.59萬塊，非球面光學(xué)零件為23.46萬塊，平面光學(xué)零件為18.1萬塊，多面體掃瞄鏡為9.62萬塊。拿M1坦克為例，其大約使用了90塊透鏡、30塊棱鏡以及各種反射鏡、窗口和激光元件。又如一具小小的AN/AVS-6飛行員夜視眼鏡就采用了9塊非球面光學(xué)零件和2塊球面光學(xué)零件。

從70年代開始，以紅外熱成像和高能激光為代表的軍用光學(xué)技術(shù)迅速發(fā)展。軍用光學(xué)系統(tǒng)不但要求成像質(zhì)量好，而且要求體積小、重量輕、結(jié)構(gòu)簡單。這對光學(xué)加工行業(yè)是一個嚴(yán)峻考驗。為了跟上時代發(fā)展的步伐，設(shè)計和制作出質(zhì)地優(yōu)良的光學(xué)成像系統(tǒng)，光學(xué)零件加工行業(yè)于70年代開展了大規(guī)模技術(shù)革命和創(chuàng)新活動，研究開發(fā)出許多新的光學(xué)零件加工方法，如非球面光學(xué)零件的加工法。近10多年來，新的光學(xué)零件加工技術(shù)得到進一步地推廣和普及。目前,國外較為普遍采用的光學(xué)零件加工技術(shù)主要有: 計算機數(shù)控單點金剛石車削技術(shù)、光學(xué)玻璃透鏡模壓成型技術(shù)、光學(xué)塑料成型技術(shù)、計算機數(shù)控研磨和拋光技術(shù)、環(huán)氧樹脂復(fù)制技術(shù)、電鑄成型技術(shù)..以及傳統(tǒng)的研磨拋光技術(shù)等。

2.計算機數(shù)控單點金剛石車削技術(shù)

計算機數(shù)控單點金剛石車削技術(shù)，是由美國國防科研機構(gòu)于60年代開發(fā)、80年代得以推廣應(yīng)用的非球面光學(xué)零件加工技術(shù)。它是在超精密數(shù)控車床上，采用天然單晶金剛石刀具，在對機床和加工環(huán)境進行控制條件下，直接利用金剛石刀具單點車削加工出符合光學(xué)質(zhì)量要求的非球面光學(xué)零件。該技術(shù)主要用于加工中小尺寸、中等批量的紅外晶體和金屬材料的光學(xué)零件，其特點是生產(chǎn)效率高、加工精度高、重復(fù)性好、適合批量生產(chǎn)、加工成本比傳統(tǒng)的加工技術(shù)明顯降低。采用該項金剛石車削技術(shù)加工出來的直徑120mm以下的光學(xué)零件,面形精度達l/2～1l，表面粗糙度的均方根值為0.02～0.06mm。

目前，采用金剛石車削技術(shù)可以加工的材料有：有色金屬、鍺、塑料、紅外光學(xué)晶體（碲鎘汞、銻化鎘、多晶硅、硫化鋅、硒化鋅、氯化納、氯化鍶、氟化鎂、氟化鈣、鈮酸鋰、KDK晶體）無電鎳、鈹銅、鍺基硫族化合物玻璃等。上述材料均可直接達到光學(xué)表面質(zhì)量要求。此技術(shù)還可加工玻璃、鈦、鎢等材料，但是目前還不能直接達到光學(xué)表面質(zhì)量要求，需要進一部研磨拋光。

計算機數(shù)控單點金剛石車削技術(shù)除了可以用來直接加工球面、非球面光學(xué)零件外，還可以用來加工各種光學(xué)零件的成型模具和光學(xué)零件機體，例如加工玻璃模壓成型模具、復(fù)制模具、光學(xué)塑料注射成型模具和加工復(fù)制環(huán)氧樹脂光學(xué)零件用的機體等。該技術(shù)與離子束拋光技術(shù)相結(jié)合，可以加工高精度非球面光學(xué)零件；與鍍硬碳膜工藝和環(huán)氧樹脂復(fù)制技術(shù)相結(jié)合，可生產(chǎn)較為便宜的精密非球面反射鏡和透鏡。假若在金剛石車床上增加磨削附件或采用陶瓷刀具、安裝精密夾具和采用在－100°C低溫進行金剛石切削等措施，此項技術(shù)的應(yīng)用范圍將可進一步擴大。目前,美國亞里桑那大學(xué)光學(xué)中心已經(jīng)使用該技術(shù)取代了傳統(tǒng)的手工加工工藝，但加工玻璃光學(xué)零件時，還不能直接磨削成符合質(zhì)量要求的光學(xué)鏡面，仍然需要進行柔性拋光。

單點金剛石車削光學(xué)零件技術(shù)經(jīng)濟效果非常明顯，例如加工一個直徑100mm的90°離軸拋物面鏡，若用傳統(tǒng)的研磨拋光工藝方法加工，面形精度zui高達到3mm（5l），加工時間需要12個月，每一個拋物面鏡的加工成本為5萬美元。而采用金剛石車削方法，3個星期就能完成，加工成本只有0.4萬美元，面形精度可達0.6µm(1λ)。美國霍尼韋爾公司就用這種技術(shù)加工AN/AAD-5紅外偵察裝置的4面體掃描轉(zhuǎn)鏡。轉(zhuǎn)鏡的每一面尺寸為88.9´203.2mm，每面的平直度要求為l/2，角精度為90°±4²。用一臺車床，15個月就加工出了124個掃描旋轉(zhuǎn)反射鏡，質(zhì)量均達到了設(shè)計技術(shù)要求。每個旋轉(zhuǎn)反射鏡比用傳統(tǒng)的加工方法加工節(jié)約費用2770美元?；裟犴f爾公司用這種工藝生產(chǎn)了200個4面體旋轉(zhuǎn)鏡，共計節(jié)約近90萬美元。而且還為AN/AAD-5紅外偵察裝置加工了10萬個平面反射鏡，節(jié)約費用1千多萬美元。在1980~1990年這10年間,平面（50´50mm）、多面體（直徑90mm）、球面（直徑100mm）、非球面（直徑125mm）等4種軍用光學(xué)零件的加工費用，按保守的經(jīng)濟效果計算，美國防部就總計節(jié)省約4億美元。

金剛石車削機床是金剛石車削工藝的關(guān)鍵技術(shù)，沒有金剛石車削機床，就不可能實現(xiàn)金剛石車削加工光學(xué)零件新工藝。金剛石車削機床屬于高精密機床，機床的主軸精度和溜板運動精度比一般的機床要高出幾個數(shù)量級，主軸軸承和溜板導(dǎo)軌通常采用空氣軸承和油壓靜力支承結(jié)構(gòu)，機床運動部件的相對位置采用激光位移測量裝置測定。在工件加工的整個過程中，采用激光干涉儀測量工件的面形誤差。車床上裝有反饋裝置，可以補償運動誤差。金剛石車床的主要生產(chǎn)廠家是美國的莫爾精密機床公司和普奈莫精密公司。進入90年代后，日本東芝機械公司也開始生產(chǎn)這種車床。莫爾精密機床公司生產(chǎn)銷售的主要產(chǎn)品是Moore M－18、－40非球面加工機，Moore T型床身機床，Moore光學(xué)平面加工機，Moore M -18油淋非球面加工機等。普奈莫精密公司生產(chǎn)出售的產(chǎn)品主要有MSG－325型、ASG-2500型、Nanoform 600型、Ultra 2000型等金剛石車床。日本東芝機械公司生產(chǎn)出售產(chǎn)品是ULG-100A（H）金剛石車床。

金剛石車床的價格十分昂貴，而且還不斷提高。以MSG 325型車床為例，在80年代初每臺價為30~40萬美元，而到了90年代初每臺價已升高到將近100萬美元。這個價格對用戶來說是一個不小的經(jīng)濟負(fù)擔(dān)，推廣普及應(yīng)用有一定難度。因此，目前各國正在積極研究開發(fā)低成本的金剛石車削機床。下面介紹幾種目前正在推廣應(yīng)用的金剛石車削機床.

 (1) 莫爾M-18非球面加工機

莫爾M-18非球面加工機是一種3軸計算機數(shù)控超精密加工系統(tǒng)，可以使用單點金剛石刀具車削，也可以使用磨輪磨削，既能加工各種高精度平面、球面和非球面光學(xué)零件，又能加工模具表面和其它表面。金剛石車削和磨輪磨削相結(jié)合，擴大了機床的加工能力。例如加工精密模具，在一臺這樣的金剛石車床就能將其加工完成。首先使用磨輪在模具基體上加工出公差一致的面形，然后鍍制無電鎳，zui后使用單點金剛石刀具，車削無電鎳表面，完成模具的精加工。該加工機床采用了Allen-Bradley7320 型、8200型或通用電器公司2000型計算機數(shù)控系統(tǒng)，車床的位置控制采用了Newlett-Packard

5501A型激光傳感器系統(tǒng)。莫爾M-18機床的主要技術(shù)性能指標(biāo)如下:

X軸行程410mm ；Z軸行程230mm ；空氣軸承主軸中心到工作臺面的距離為292mm ,到旋轉(zhuǎn)工作臺面的距離為178mm ；X軸和Z軸在全部行程上的直線性為0.5mm ；X軸和Z 軸在全部行程上的垂直度為1µrad ；X軸Z軸在全部行程上的偏向角為0.5µrad s ；X軸Z軸全部行程上的定位精度1.5mm ；X軸和Z軸每25.4mm行程的定位精度為0.5mm ；B軸旋轉(zhuǎn)360°時的角度偏差為±3µrad s ；X軸和Z軸的讀數(shù)精度為5mm ；B軸的讀數(shù)精度為1.3µrad s ；主軸的軸向誤差為0.05mm ,徑向誤差為0.2mrad ；機床的體積(高´長´寬)為1778´2032´1800mm 。

(2) 普奈莫MSG-325型金剛石車床

普奈莫MSG-325型金剛石車床是計算機數(shù)控型雙軸金剛石車床。機床采用一個重6t的花崗巖底座，花崗巖底座裝在壓縮空氣墊上用于隔離振動，使振動減小到2Hz。X和Z溜板都安裝在花崗巖底座上，兩個溜板相互垂直安裝，在整個行程上的垂直精度在0.76mm以內(nèi)。X溜板上裝有一個可以互換的刀架，Z溜板上裝有一個空氣軸承主軸。兩個溜板的運動的位置用一個激光傳感器系統(tǒng)測定，精度為0.025mm。

該機床可以加工紅外和可見光波段應(yīng)用的各種球面和非球面透鏡、菲涅耳透鏡、反射鏡、偏軸圓錐截面鏡、多面體反射鏡以及精密錄像鏡頭等光學(xué)零件。在光學(xué)零件加工過程中，可采用激光干涉儀對加工件進行面形非接觸測量。機床的主要技術(shù)性能指標(biāo)如下:

機床的主軸采用空氣軸承,在1000轉(zhuǎn)/min時,在前端測量,其徑向和軸向跳動均為0.1mm ；驅(qū)動馬達為1/3HP 100~2400轉(zhuǎn)/min直流伺伏服馬達；采用空氣軸承的X溜板的名義尺寸為609´762mm ，zui大行程為304mm ,zui大移動速度20cm/min ,水平方向運動誤差0.5mm ,垂直方向運動誤差1.27mm ,精密絲杠驅(qū)動馬達1HP 0~2500轉(zhuǎn)/min ；Z溜板zui大行程為203mm ,其它性能指標(biāo)均與X溜板的相同；加工工件的直徑,正常機床結(jié)構(gòu)的為356mm ,大孔徑機床結(jié)構(gòu)的為560mm ；加工工件的zui大加工深度

204mm ；工件直徑為150mm時,加工工件的面形精度可達l/2 。

(3) ULG-100A(H)型超精密非球面金剛石車床

該機床是日本東芝機械公司90年代產(chǎn)品，從1992年6月開始，每月生產(chǎn)2臺，每臺機床售價5000萬日元。機床主軸采用高剛性超精密空氣靜軸承，機床數(shù)控裝置具有反饋功能。它可加工各種光學(xué)零件和非球面透鏡模壓成型用金屬模具。加工精度可達0.01mm。模壓成型金屬模具利用金剛石刀具和磨輪進行車削和研磨加工，能達到鏡面質(zhì)量。機床的主要技術(shù)性能指標(biāo)如下:

機床的X軸(研磨輪軸)zui大行程為150mm ；Z軸(工件軸)zui大行程為100mm ；研磨輪軸zui高轉(zhuǎn)速為40000轉(zhuǎn)/min ；研磨輪馬達1kW/40000轉(zhuǎn)/min ；工件軸轉(zhuǎn)速20~1500轉(zhuǎn)/min ；工件軸馬達0.25kW/3000轉(zhuǎn)/min ；研磨輪主軸軸向和徑向跳動0.05 mm ；工件主軸軸向和徑向跳動0.05mm ；X軸移動直線性0.1mm/150mm ；Z軸移動直線性0.1mm/100mm 。

3. 光學(xué)玻璃透鏡模壓成型技術(shù)

光學(xué)玻璃透鏡模壓成型技術(shù)是一種高精度光學(xué)元件加工技術(shù)，它是把軟化的玻璃放入高精度的模具中，在加溫加壓和無氧的條件下，一次性直接模壓成型出達到使用要求的光學(xué)零件。這項技術(shù)自80年代中期開發(fā)成功至今已有十幾年的歷史了，現(xiàn)在已成為上zui*的光學(xué)零件制造技術(shù)方法之一，在許多國家已進入生產(chǎn)實用階段。這項技術(shù)的普及推廣應(yīng)用是光學(xué)行業(yè)在光學(xué)玻璃零件加工方面的重大革命。由于此項技術(shù)能夠直接壓制成型精密的非球面光學(xué)零件，從此便開創(chuàng)了光學(xué)儀器可以廣泛采用非球面玻璃光學(xué)零件的時代。因此，也給光電儀器的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計帶來了新的變化和發(fā)展，不僅使光學(xué)儀器縮小了體積、減少了重量、節(jié)省了材料、減少了光學(xué)零件鍍膜和工件裝配的工作量、降低了成本，而且還改善了光學(xué)儀器的性能，提高了光學(xué)成像的質(zhì)量。

光學(xué)玻璃模壓成型法制造光學(xué)零件有如下優(yōu)點：（1）不需要傳統(tǒng)的粗磨、精磨、拋光、磨邊定中心等工序，就能使零件達到較高的尺寸精度、面形精度和表面粗糙度；（2）能夠節(jié)省大量的生產(chǎn)設(shè)備、工裝輔料、廠房面積和熟練的技術(shù)工人，使一個小型車間就可具備很高的生產(chǎn)力；（3）可很容易經(jīng)濟地實現(xiàn)精密非球面光學(xué)零件的批量生產(chǎn)；（4）只要地控制模壓成型過程中的溫度和壓力等工藝參數(shù)，就能保證模壓成型光學(xué)零件的尺寸精度和重復(fù)精度；（5）可以模壓小型非球面透鏡陣列；（6）光學(xué)零件和安裝基準(zhǔn)件可以制成一個整體。

目前批量生產(chǎn)的模壓成型非球面光學(xué)零件的直徑為2～50mm，直徑公差為±0.01mm；厚度為0.4～25mm，厚度公差為±0.01mm；曲率半徑可達5mm；面形精度為1.5λ，表面粗糙度符合美國軍標(biāo)為80－50；折射率可控制到±5×10－4mm，折射均勻性可以控制到<5×10－6mm；雙折射小于0.01λ/cm。

現(xiàn)在，世界上已掌握這項*玻璃光學(xué)零件制造技術(shù)的公司和廠家有美國的柯達、康寧公司，日本的大原、保谷、歐林巴斯、松下公司，德國的蔡司公司和荷蘭的菲利浦公司等。

玻璃光學(xué)零件模壓成型技術(shù)是一項綜合技術(shù)，需要設(shè)計的模壓機床，采用高質(zhì)量的模具和選用合理的工藝參數(shù)。成型的方法，玻璃的種類和毛坯，模具材料與模具制作，都是玻璃模壓成型中的關(guān)鍵技術(shù)。

3.1 成型方法

玻璃之所以能夠精密模壓成型，主要是因為開發(fā)了與軟化的玻璃不發(fā)生粘連的模具材料。

原來的玻璃透鏡模壓成型法，是將熔融狀態(tài)的光學(xué)玻璃毛坯倒入高于玻璃轉(zhuǎn)化點50℃以上的低溫模具中加壓成形。這種方法不僅容易發(fā)生玻璃粘連在模具的模面上，而且產(chǎn)品還容易產(chǎn)生氣孔和冷模痕跡（皺紋），不易獲得理想的形狀和面形精度。后來，采用特殊材料精密加工成的壓型模具，在無氧化氣氛的環(huán)境中，將玻璃和模具一起加熱升溫至玻璃的軟化點附近，在玻璃和模具大致處于相同溫度條件下，利用模具對玻璃施壓。接下來，在保持所施壓力的狀態(tài)下，一邊冷卻模具，使其溫度降至玻璃的轉(zhuǎn)化點以下（玻璃的軟化點時的玻璃粘度約為107。6泊，玻璃的轉(zhuǎn)化點時的玻璃粘度約為1013。4泊）。這種將玻璃與模具一起實施等溫加壓的辦法叫等溫加壓法，是一種比較容易獲得高精度，即容易精密地將模具形狀表面復(fù)制下來的方法。這種玻璃光學(xué)零件的制造方法缺點是：加熱升溫、冷卻降溫都需要很長的時間，因此生產(chǎn)速度很慢。為了解決這個問題，于是對此方法進行了卓有成效的改進，即在一個模壓裝置中使用數(shù)個模具，以提高生產(chǎn)效率。然而非球面模具的造價很高，采用多個模具勢必造成成本過高。針對這種情況，進一步研究開發(fā)出與原來的透鏡毛坯成型條件比較相近一點的非等溫加壓法，借以提高每一個模具的生產(chǎn)速度和模具的使用壽命。另外，還有人正在研究開發(fā)把由熔融爐中流出來的玻璃直接精密成型的方法。

3.2玻璃的種類和毛坯

玻璃毛坯與模壓成型品的質(zhì)量有直接的關(guān)系。按道理，大部分的光學(xué)玻璃都可用來模壓成成型品。但是，軟化點高的玻璃，由于成型溫度高,與模具稍微有些反應(yīng)，致使模具的使用壽命很短。所以，從模具材料容易選擇、模具的使用壽命能夠延長的觀點出發(fā)，應(yīng)開發(fā)適合低溫（600℃左右）條件下模壓成型的玻璃。然而，開發(fā)的適合低溫模壓成型的玻璃必需符合能夠廉價地制造毛坯和不含有污染環(huán)境的物質(zhì)（如PbO、As2O3）的要求。對模壓成型使用的玻璃毛坯是有要求的：（1）壓型前毛坯的表面一定要保持十分光滑和清潔；（2）呈適當(dāng)?shù)膸缀涡螤?；?/span>3）有所需要的容量。毛坯一般都選用球形、圓餅形或球面形狀，采用冷研磨成型或熱壓成型。

3.3 模具材料與模具加工

模具材料需要具備如下特征：（1）表面無疵病，能夠研磨成無氣孔、光滑的光學(xué)鏡面；（2）在高溫環(huán)境條件下具有很高的耐氧化性能，而且結(jié)構(gòu)等不發(fā)生變化，表面質(zhì)量穩(wěn)定，面形精度和光潔度保持不變；（3）不與玻璃起反應(yīng)、發(fā)生粘連現(xiàn)象，脫模性能好；（4）在高溫條件下具有很高的硬度和強度等。

現(xiàn)在已有不少有關(guān)開發(fā)模具材料的，zui有代表性的模具材料是：以超硬合金做基體，表面鍍有貴金屬合金和氮化鈦等薄膜；以碳化硅和超硬合金做基體，表面鍍有硬質(zhì)碳、金剛石狀碳等碳系薄膜；以及Cr2O-ZrO2-TiO2系新型陶瓷。

玻璃透鏡壓型用的模具材料，一般都是硬脆材料,要想把這些模具材料精密加工成模具，必需使用高剛性的、分辨率能達到0.01µm以下的高分辨率超精密計算機數(shù)字控制加工機床,用金剛石磨輪進行磨削加工。磨削加工可獲得所期盼的形狀精度，但然后還需再稍加拋光精加工成光學(xué)鏡面才行。在進行高精度的非球面加工中，非球面面形的測試與評價技術(shù)是非常重要的。對微型透鏡壓型用模的加工，要求更加嚴(yán)格，必需進一步提高精度和減輕磨削的痕跡。

3.4 玻璃模壓成型技術(shù)的應(yīng)用

目前,光學(xué)玻璃透鏡模壓成型技術(shù),已經(jīng)用來批量生產(chǎn)精密的球面和非球面透鏡。平時，除了一般生產(chǎn)制造直徑為15mm左右的透鏡外，還能生產(chǎn)制造直徑為50mm的大口徑透鏡、微型透鏡陣列等?，F(xiàn)已能制造每個透鏡的直徑為100µm的微型透鏡陣列。

（1）制造軍用和民用光學(xué)儀器中使用的球面和非球面光學(xué)零件，如各透鏡、棱鏡、以及濾光片等；

（2）制造光通信用的光纖耦合器用非球面透鏡；

（3）制造光盤用的聚光非球面透鏡。使用一塊模壓成型法制造的非球面透鏡，可代替光盤讀出器光學(xué)鏡頭內(nèi)使用的三塊球面透鏡。由于模壓成型非球面透鏡的精度很高，不僅能夠控制和校正大數(shù)值孔徑的軸向像差，而且還使原來的光學(xué)鏡頭的重量減輕、成本降低30～50％。

（4）制造照相機取景器非球面透鏡、電影放映機和照相機鏡頭的非球面透鏡等。美國僅柯達公司每年就需要壓型幾百萬個非球面光學(xué)零件。

4.光學(xué)塑料成型技術(shù)

光學(xué)塑料成型技術(shù)是當(dāng)前制造塑料非球面光學(xué)零件的*技術(shù)，包括注射成型、鑄造成型和壓制成型等技術(shù)。光學(xué)塑料注射成型技術(shù)主要用來大量生產(chǎn)直徑100mm以下的非球面光學(xué)零件，也可制造微型透鏡陣列。而鑄造和壓制成型主要用于制造直徑為100mm以上的非球面透鏡光學(xué)零件。

塑料非球面光學(xué)零件具有重量輕、成本低；光學(xué)零件和安裝部件可以注塑成為一個整體，節(jié)省裝配工作量；耐沖擊性能好等優(yōu)點。因此，在軍事、攝影、醫(yī)學(xué)、工業(yè)等領(lǐng)域有著非常好的應(yīng)用前景。美國在AN/AVS-6型飛行員微光夜視眼鏡中就采用了9塊非球面塑料透鏡。此外，在AN/PVS-7步兵微光夜視眼鏡、HOT夜視眼鏡、“銅斑蛇”激光制導(dǎo)炮彈導(dǎo)引頭和其他光電制導(dǎo)導(dǎo)引頭、激光測距機、軍用望遠鏡以及各種照相機的取景器中也都采用了非球面塑料透鏡。美國TBE公司在制造某種末制導(dǎo)自動導(dǎo)引頭用非球面光學(xué)零件時，曾對幾種光學(xué)塑料透鏡成型法作過經(jīng)濟分析對比，認(rèn)為采用注射成型法制造非球面光學(xué)塑料透鏡zui為合算。

4.1注射成型法

注射成型是將加熱成流體的定量的光學(xué)塑料注入到不銹鋼模具中，在加熱加壓條件下成型，冷卻固化后打開模具,便可獲得所需要的光學(xué)塑料零件。光學(xué)塑料注射成型的關(guān)鍵環(huán)節(jié)是模具，由于光學(xué)塑料模壓成型的工作溫度較低，所以對模具的要求要比對玻璃模壓成型模具的要求低一些。非球面模具的超精密加工相當(dāng)困難，通常的加工都是首先在數(shù)控機床上將模具的坯件磨削成近似非球面，然后用范成精磨法逐步提高非球面的面形精度和表面粗糙度，zui后用拋光法加工成所要求的面形精度和表面粗糙度?？墒牵捎跀?shù)控機床的加工精度比較低，在模具加工過程中需要對模具進行反復(fù)檢測和修改，逐步地提高模具精度，從而使模具的成本變得很高。因而現(xiàn)在的模具，是用剛性好、分辨率高的計算機數(shù)控超精密非球面加工機床和非球面均勻拋光機超精密加工而成的。首先用計算機數(shù)控超精密非球面機床將模坯加工出面形精度達±0.1µm的非球面，然后用拋光機在保持非球面面形精度不變的條件下均勻地輕拋光，大約拋去0.01µm，使模具表面的粗糙度得到提高。

注射成型的光學(xué)塑料零件的焦距精度可以控制到0.5～1％，面形精度高于λ∕4，長度公差達

0.0076mm，厚度公差達0.012mm。

下面介紹一種日本人發(fā)明的高精度塑料光學(xué)零件注射成型法——澆口密封成型法。

澆口密封成型法，是一種向加熱至樹脂轉(zhuǎn)化溫度（Tg）以上的金屬模中注射熔融的樹脂(注射量應(yīng)是：冷卻結(jié)束打開模具時樹脂的壓力剛好是大氣的壓力的量)，迅速密封澆口，等溫度、壓力均勻后，在相對容積一定、溫度－壓力均勻條件下，徐徐冷卻至樹脂的熱變形溫度以下后，打開模具取出壓形品的成型方法。

首先，以大約130MPª的高壓，將高溫的熔融樹脂注射到模具中，在高溫（T1）下將澆口密封。密封在模具中的樹脂，其壓力在均勻化的過程中降至30MPa左右（此時的溫度為：比樹脂轉(zhuǎn)化溫度Tg高一些的某一溫度T2）。從注射開始經(jīng)過一定時間后，就可由壓型機的合模裝置上將模具單體取下。單體模具經(jīng)過緩緩冷卻后才可開模，取出壓型成品。

澆口密封成型法的關(guān)鍵問題在于，注射到模具中的300℃左右高溫的熔融樹脂，如何以130MPa的壓力將澆口密封死。其做法是：在成型注射之前，先將一個小球放入金屬模具的澆口部，當(dāng)向模具中注射熔融樹脂時，小球受到樹脂的擠壓就會從澆口處向靠近模穴一側(cè)移動。這時，在澆口部通往模穴的地方就會出現(xiàn)間隙，熔融樹脂從此間隙能夠流入到模穴中。而當(dāng)注射成型機停止向模具內(nèi)高壓注射樹脂時，由于壓差的原因，瞬間發(fā)生樹脂逆流現(xiàn)象，小球則被這種逆流的樹脂又從靠近模穴的一側(cè)推向模具的澆口處。此時，小球依靠高壓的樹脂所發(fā)生的擠壓力將模具澆口堵死，完成澆口密封工作。

該澆口密封成型法由于是樹脂注射后用小球進行澆口密封的，因而不需要保壓和壓縮機構(gòu)及其工作。所以注射了樹脂后的金屬模具很容易從成型機上取下來，以金屬模具單體脫離成型機身的形式進行長時間的冷卻。這不但大大提高了成型機的工作效率，同時也提高了單位時間的生產(chǎn)效率。這種成型法可將一部分功能分配到機外的裝置中去完成，改變了過去那種功能只能在成型機裝置內(nèi)進行的做法。

澆口密封成型工序分4步工序進行。

（1）加熱工序。由金屬模具的外部進行傳導(dǎo)加熱。從成型品的取出溫度加熱到Tg（樹脂的轉(zhuǎn)化溫度－即模具加溫需要達到的溫度）以上的一定溫度為止，用很短的時間進行升溫，使熱度做到均勻化。（2）成型工序。向模具內(nèi)注射熔融的樹脂，使小球?qū)⒛＞邼部诿芊夂?，為使溫度、壓力做到均勻化，對金屬模進行保溫。

（3）緩冷工序。利用自行保持合模力的機構(gòu)，一邊維持合模狀態(tài)，一邊從壓型機上取下壓型模。取下的單體壓型模具，采用自然空氣冷卻或是強制空氣冷卻的方式，以每分鐘1～2℃的速度逐漸降溫。

（4）取出工序。從壓型模中取出成形品。由于壓型模具已從壓型機上取下，這時只要取下自行保持合模力的機構(gòu)，就能打開型模取出成形品。在成形品取出過程中，由于樹脂的壓力相當(dāng)于大氣的壓力，所以不需要推出裝置，只要打開突出分型面的部分，成形品就能離模。

澆口密封成型法的關(guān)鍵要素，是金屬模具的溫度條件和注射充填條件（緩慢冷卻結(jié)束時樹脂壓力為大氣壓力的條件）。因此，既使是模壓成型形狀和體積不同的成型品，也不用改變注射時和冷卻結(jié)束時的金屬模具的溫度，只要有充裕的時間使溫度－壓力達到均勻化，并保持緩慢冷卻的速度，根據(jù)模穴的容積注射充填樹脂，就能進行高精度地復(fù)制。

4.2 壓制成型法

所謂壓制成型法就是將光學(xué)塑料毛坯放入金屬模具中模壓成光學(xué)塑料零件的一種方法。下面介紹其中一種壓制成型方法——再熔融成型法。

再熔成型法，是將近似于成形品形狀的毛坯，插入具有復(fù)制面形、又使樹脂不能流出的金屬模具中，在模穴容積一定條件下，將模穴中的樹脂加熱至樹脂轉(zhuǎn)化溫度Tg以上，利用因樹脂的膨脹和軟化-熔融所發(fā)生的均勻的樹脂壓力，使樹脂緊密附著到模子的復(fù)制面上，等溫度-壓力均勻后，在相對容積一定、溫度－壓力均勻條件下，徐徐冷卻至樹脂的熱變形溫度以下，然后打開型模取出壓型成形品的一種光學(xué)塑料零件成形方法。

再熔成型法，通過利用不同的工序確保壓形品的形狀創(chuàng)成和面形精度，緩和了成形品內(nèi)的殘留應(yīng)力和密度分布，實現(xiàn)了成形品的精度優(yōu)良制作。再熔成型法工藝由下述2道工序組成。

（1）毛坯成形工序。使用普通的注射成形法，制作近似于zui后成形品形狀的毛坯成形品。

毛坯成形工序，由于采用的是通常的注射成形法，在將熔融的樹脂向低于樹脂熱變形溫度的模具中注射充填過程中，表層部就會驟冷固化，毛坯會有收縮。若出現(xiàn)面形不能復(fù)制的話，則是殘留應(yīng)力比較大的緣故。

（2）面形復(fù)制工序。將毛坯插入具有復(fù)制面形、而又使樹脂不能流出外部的不同模具中，加熱－冷卻，進行面形復(fù)制。

面形復(fù)制工序是將低精度的毛坯高精度化的一個工序。具有面形的模具，通過加熱至樹脂的Tg（樹脂轉(zhuǎn)化溫度）以上，殘留應(yīng)力可以得到緩和。進而，由于加熱時樹脂的軟化－熱膨脹能使模穴內(nèi)發(fā)生均勻的樹脂壓力，所以，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的面形復(fù)制。

為了防止發(fā)生溫度分布和壓力分布，冷卻需要緩慢進行，而且必需冷卻至樹脂熱變形溫度以下。這樣，開模取壓形品時，成形品才不會變形。另外，由于開模時的樹脂壓力必需大致相當(dāng)于大氣壓力，因此，模穴容積一定條件下的毛坯的重量誤差也是應(yīng)該引起重視的一個要點。

通過實施各自具有特征的毛坯工序和面形復(fù)制工序，可以構(gòu)成能生產(chǎn)性能優(yōu)良的塑料光學(xué)零件的制造系統(tǒng)。

再熔成形法的面形復(fù)制工序的設(shè)備，除了能夠開、合型模的沖壓機外，還有不需要有澆口和噴嘴之類的部分金屬模具，制作起來很便宜。因此，設(shè)備增設(shè)起來很容易?？梢愿鶕?jù)生產(chǎn)量的情況，適宜地進行設(shè)備投資，建立起一個相對應(yīng)的柔性生產(chǎn)系統(tǒng)。

再熔成形法的特征是：由于再熔成形法的毛坯成形工程采用了普通的注射成形工藝，所以具有成形周期短、適合批量生產(chǎn)之優(yōu)點。但是，面形復(fù)制工程必需實施加熱、冷卻工程，因此又存在著與澆口密封成型法一樣周期長的缺陷。然而，因為不需要像通常注射成形工藝那樣的注射、充填工序，所以也就不用考慮樹脂流路的問題。又因成形時產(chǎn)生的壓力小于30MPa（通常的注射成形為100MPa左右），故并不要求模具有很高的剛性。模具因為體積小而可使用多個，因此，可以采用多個模具彌補

生產(chǎn)效率低的不足。由于加熱、冷卻容易控制，成形周期縮短，所以生產(chǎn)效率可以提高。

另外，由于毛坯成型工序和面形復(fù)制工序能夠獨立操作，面形復(fù)制工序的沖壓機可以對每一個壓形品的成形條件進行設(shè)計，所以可以進行不同樹脂、不同形狀的成形品的混合生產(chǎn)。

利用該成型法制作的非球面反射鏡經(jīng)過形狀測量，結(jié)果是:在±100mm范圍內(nèi)，反射面的彎曲（起

伏）度在4µm以下，成形品的精度很高。

5.計算機數(shù)控研磨和拋光技術(shù)

技算機數(shù)控研磨和拋光技術(shù)是一種由計算機控制的精密機床將工件表面磨削成所需要的面形，然后用柔性拋光模拋光，使工件在不改變精磨面形精度的條件下達到鏡面光潔度的光學(xué)零件制造技術(shù)。該技術(shù)主要用來加工中、大尺寸的非球面光學(xué)零件。加工零件時，磨削工具受計算機控制，在工件表面進行磨削去除加工。磨削工具根據(jù)工件的不同加工余量，在工件表面停留不同的時間來實現(xiàn)非球面加工。工件加工精度主要取決于測量精度和所采用的誤差校正方法。

非球面光學(xué)零件的精密研磨拋光比較普遍采用的一種技術(shù)是：小型磨床修正研磨拋光法。

小型磨床研磨拋光法分為縱向掃描和光柵掃描兩種方式?？v向掃描方式是：被加工的工件以一定的速度旋轉(zhuǎn)，拋光器則沿著貫穿工件軸心的斷面進行搖動。縱向掃描方式對工件軸心附近的形狀控制和非旋轉(zhuǎn)對稱部分的形狀誤差的修正研磨拋光比較困難，但是研磨時間可望縮短，設(shè)備比較簡單。光柵掃描方式則是：被加工的工件不旋轉(zhuǎn)，拋光器在工件的表面移動研磨拋光。這種方式不僅容易進行非旋轉(zhuǎn)對稱部分的修正研磨拋光，而且還可以進行離軸光學(xué)零件的研磨拋光加工。但是，此種方式的設(shè)備組成較為復(fù)雜，成本比較高。

為了提高加工精度，小型磨床加工系統(tǒng)必需具備很高的精度和反復(fù)再現(xiàn)性、研磨去除量不隨時間變化而變化、高精度的模擬計算、和與實際研磨的一致性等條件。小型磨床研磨拋光加工的工藝流程大致如下：首先由三維測試機、激光干涉儀測出加工面的形狀精度，求出面形誤差。工作站根據(jù)面形誤差計算出需要研磨拋光的軌跡，并將該研磨拋光軌跡轉(zhuǎn)換成數(shù)控編碼傳送給磨床進行加工。加工完了后進行面形精度測試。面形精度若是沒有達到要求，再反復(fù)地進行計算、加工。通過這樣反復(fù)地進行面形測試、計算、修正研磨拋光，即可達到提高面形精度的目的。

小型磨床zui早是由美國研究開發(fā)的，其磨頭直徑不超過工件的1/3，由計算機計算去除量，加工精度比較高?？梢愿呔鹊丶庸ぶ睆?/span>1500～1800mm的大口徑非球面。目前，美國亞里桑那大學(xué)的光學(xué)中心，已基本上用計算機數(shù)控研磨拋光加工技術(shù)取代了傳統(tǒng)的手工研磨拋光加工非球面光學(xué)零件。另外美國羅徹斯特大學(xué)光學(xué)制造中心也已獲得了300多萬美元的國防基金和幾家大公司的資助，實現(xiàn)了非球面透鏡生產(chǎn)的自動化。

80年代末，日本研制出了的超精密數(shù)控范成法研磨機，使用該研磨機加工出的光學(xué)零件，其面形精度達到了0.08µm，表面粗糙度的均方根值為0.2nm。若用瀝青拋光模進行加工，表面粗糙度的均方根值能達到0.035nm。zui近，日本采用門型機械加工中心，使用4000#～8000#鑄鐵絲結(jié)合金剛石砂輪，利用ELID（在線電解修正法）磨削法，磨削BK-7光學(xué)玻璃，所獲得的非球面的面形精度為1µm，表面粗糙度為43nm Rmax。

德國的計算機數(shù)控研磨拋光技術(shù)很快。Loh公司生產(chǎn)的CNC SPM50和120研磨拋光機，不僅可以粗、精磨球面光學(xué)零件，而且還可以粗、精磨非球面光學(xué)零件。施耐德（SCHEIDER）光學(xué)機械公司90年代末制造的ALG 100型計算機數(shù)控非球面磨床和ALP 100型計算機數(shù)控非球面拋光機，可以率地進行非球面光學(xué)零件的生產(chǎn)。

ALG 100型計算機數(shù)控非球面磨床，可在對話框中直接輸入非球面加工參數(shù)，自動計算非球面磨削加工量；采用*導(dǎo)向裝置與旋轉(zhuǎn)加工技術(shù)，各軸與旋轉(zhuǎn)軸的傳動使用了高性能數(shù)字AC伺服傳動裝置；采用干涉測量系統(tǒng)加強加工過程中的工件的測量，能對工件的非球面加工進行優(yōu)化調(diào)整；非球面加工中心能夠直接進行非球面或棱形的組合加工，具有綜合預(yù)加工的2、3維混合加工技術(shù)功能；旋轉(zhuǎn)軸采用高頻空氣軸承，可利用環(huán)形工具進行高速的球面預(yù)加工，能夠獲得*透鏡半徑等特性。ALG100非球面磨床的主要技術(shù)規(guī)格如下：加工工件尺寸：zui大直徑為150mm，半徑為10 mm的平面；軸數(shù)3軸（X,Z,B）X、Z；軸的推進（進刀）速度為0.01～5000 mm/min；X、Z軸的位置往返精度為±0.001 mm；B軸的推進（進刀）速度為0.01～4300º/min；B軸位置往返精度為±4；連接機構(gòu)旋轉(zhuǎn)軸（H×D）25×42 mm；主軸轉(zhuǎn)速度為5000～15000轉(zhuǎn)/min；工件軸轉(zhuǎn)速為25～1500 轉(zhuǎn)/min；磨床外形尺寸1150×1900×1220 mm；質(zhì)量為1000kg。

ALP 100型計算機數(shù)控非球面拋光機，可以在對話框中直接輸入非球面加工參數(shù)；自動計算非球面拋光加工量；使用特殊加工的非球面磨具拋光；拋光參數(shù)可進行計算機數(shù)控、調(diào)節(jié)與觀察；可以優(yōu)化計算機數(shù)控的拋光軌跡，制作出高表面質(zhì)量的復(fù)雜的非球面幾何形狀；采用了*導(dǎo)向與轉(zhuǎn)軸技術(shù)，可高速地進行連續(xù)的軌跡拋光；各軸和旋轉(zhuǎn)軸都采用了高性能的數(shù)字式AC伺服傳動裝置；可基于圖形模式進行優(yōu)化拋光的調(diào)整等特性。該拋光機的主要技術(shù)規(guī)格如下：可加工工件的尺寸：zui大直徑為150 mm，半徑為10 mm的平面；軸數(shù)3軸（X,Z,B）；X、Z軸的推進（進刀）速度為0.01～5000mm/min；X、Z軸位置往返精度為±0.001 mm；B軸的推進（進刀）速度)0.01～4300º/min；B軸的位置往返精度為±4；連接機構(gòu)旋轉(zhuǎn)軸25×42 mm；主軸轉(zhuǎn)速度為50～2500 轉(zhuǎn)/min；工件軸轉(zhuǎn)速為25～1500 轉(zhuǎn)/min；拋光機外形尺寸1150×1900×1220mm；車床質(zhì)量1000kg。

6.光學(xué)零件加工的柔性自動化技術(shù)

近10 多年來,計算機數(shù)控技術(shù)發(fā)展很快，已迅速被大多數(shù)工業(yè)加工行業(yè)所采用。目前，計算機數(shù)控的加工方法，特別是計算機數(shù)控加工中心已經(jīng)被認(rèn)為是增大加工的靈活性、提高工件加工的速度和質(zhì)量的zui基本的方法。在過去的年代里計算機數(shù)控技術(shù)在光學(xué)加工行業(yè)中的應(yīng)用比較少，這幾年已經(jīng)引起了行業(yè)專家們的重視。

自1990年起，為滿足軍用光學(xué)系統(tǒng)目前和未來的需求，美國“*制造技術(shù)計劃”支持發(fā)展新的技術(shù)。美*材料司令部投資700萬美元在羅徹斯特大學(xué)建立起一個面積達1670m2的光學(xué)制造中心。該中心得到了美國精密光學(xué)制造協(xié)會和美國國防部的支持，其成員目前已有100來個。

建立光學(xué)制造中心的目的，是想通過引進以定型加工為基礎(chǔ)的計算機數(shù)控加工機床，使勞動力密集型的光學(xué)加工技術(shù)迅速實現(xiàn)柔性自動化，從而改善美國在光學(xué)零件制造方面的能力，使美國工業(yè)的光學(xué)基礎(chǔ)恢復(fù)元氣。光學(xué)制造中心，通過和其成員之間的緊密，加快了新技術(shù)的開發(fā)步伐，不久便開發(fā)出了稱之為光學(xué)自動化和管理（Opticam）的新光學(xué)加工技術(shù)。這種Opticam技術(shù)，以定型加工為基礎(chǔ)，通過計算機數(shù)控機床和柔性工具，實現(xiàn)光學(xué)零件加工的柔性自動化。

1992年光學(xué)制造中心研制出了第1臺型號為Opticam SM的加工系統(tǒng)，實現(xiàn)了光學(xué)零件在計算機數(shù)控機床上加工的夢想。該機床的工具軸為具有空氣軸承的高速旋轉(zhuǎn)軸，其線速達50m/s。工具為金屬結(jié)合劑的金剛石環(huán)形磨輪，其粒度分別為20～10µm、12～6µm、4～2µm。在零件加工過程中，計算機控制進給，機械手更換夾具。該加工機床加工的光學(xué)零件其表面粗糙度（RMS）可達20nm以下，次表面的破壞層深度小于2µm。5分鐘內(nèi)面形精度可達1λ（PV值）。1993年該中心又推出了第2代設(shè)計產(chǎn)品Opticam SX加工系統(tǒng)。這是一種非常靈活的運動精度為亞微米級的5軸計算機數(shù)控精密加工中心。使用的工具為由燒結(jié)金剛石磨料制成的環(huán)形磨輪。磨輪的轉(zhuǎn)速為10000轉(zhuǎn)/min，工件軸的轉(zhuǎn)速為200轉(zhuǎn)/min。機床的定位精度為1µm，轉(zhuǎn)角精度為1。該系統(tǒng)能完成所有球面零件的粗磨、精磨、超精磨、定中心、磨邊、倒角等加工工序。能加工直徑為10～150mm的凹凸半球零件。加工出的光學(xué)零件的面形精度好于λ/3（P-V值），表面粗糙度的均方根值為3～10nm。目前這種Opticam機床已被12家光學(xué)零件制造廠使用，已生產(chǎn)出了可供標(biāo)槍XX、F-16飛機、目標(biāo)捕獲指示瞄準(zhǔn)具/駕駛員夜視傳感器和XX尋的改進計劃等用的光學(xué)元件。

Opticam技術(shù)的開發(fā)應(yīng)用，極大的提高了光學(xué)加工的適應(yīng)性和生產(chǎn)率，收益巨大。首先是，使光學(xué)零件加工擺脫了對熟練技術(shù)工人的依賴，工人不再需要進行長時間的培訓(xùn)。只要利用給與的工件加工參數(shù)，任何計算機數(shù)控機床操作員均能生產(chǎn)出符合要求的光學(xué)零件，而且可以100%的提高產(chǎn)量。因此，它完夠應(yīng)付因戰(zhàn)爭動員所造成的生產(chǎn)量驟增。其次是，不再為每種透鏡配備的工具與夾具，從而使光學(xué)零件的加工費用得以降低。羅徹斯特大學(xué)光學(xué)制造中心，曾利用初步得到的數(shù)據(jù)將這種新技術(shù)與傳統(tǒng)的光學(xué)加工方法作了比較，按保守估計得出的結(jié)論是，用新技術(shù)比用傳統(tǒng)的技術(shù)要平均節(jié)省20％的費用。其三是，由于Opticam技術(shù)提供的柔性加工能力使在同一臺機床上可以生產(chǎn)不同的光學(xué)零件，且很快就能拿出樣品，所以可使光學(xué)元件加工的總周期縮短30～60%。

為了進一步完善Opticam技術(shù)在光學(xué)加工領(lǐng)域的應(yīng)用，在“*制作技術(shù)計劃”的支持下，羅徹斯特大學(xué)的光學(xué)制造中心正潛心作如下方面的工作：（1）針對Opticam SX加工系統(tǒng)加工出的玻璃透鏡仍需通過一次拋光工序的加工，才能去除次表面的損傷和使表面粗糙度的均方根值小于2µm，正在研究原蘇聯(lián)人Belarus發(fā)明的磁流體精加工技術(shù)。現(xiàn)已研制出利用磁流體拋光技術(shù)的Opticam磁流體拋光樣機和定型方法，下一步工作是研究確定磁流體拋光過程的特性和將其工作*化；（2）研制價格便宜的、加工直徑為2～50mm的透鏡用的Opticam micro SX機床，將Opticam技術(shù)擴展到微型透鏡加工領(lǐng)域。（3）進行金剛石磨料刀具*化和改進冷卻劑的研究。打算利用日本人發(fā)明的加工中電解整修技術(shù)，通過計算機控制電解去除研磨工具的粘結(jié)材料，在研磨中不斷地進行金剛石研磨工具的整修。（4）1996年，美國國防研究計劃局啟動新的600萬美元的技術(shù)再投資計劃，預(yù)將Opticam技術(shù)擴展到玻璃和易碎材料的非球面透鏡的制造領(lǐng)域。光學(xué)制造中心正在進行這項工作的研究，打算通過將定型微研磨技術(shù)與磁流體拋光技術(shù)相結(jié)合的做法來實現(xiàn)這一計劃。按計劃1999年實現(xiàn)制作設(shè)備商品化。

另外，羅徹斯特大學(xué)光學(xué)制作中心還開始了有關(guān)制造非軸對稱和共形光學(xué)元件方法的研究，預(yù)將Opticam技術(shù)延伸到非徑向?qū)ΨQ元件的成形加工領(lǐng)域。